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专利基本信息
专利名称 一种石墨烯/氧化物复合光学薄膜的制备方法
专利状态 - 专利号（申请号） CN106939405B
专利申请日期 2017-03-23 专利类型 发明专利
申请公布号 2017101767137 申请公布日 2017-03-23
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 吴红艳;赵兴明;陈震;黄珂;鲁小娅;张成远
专利权人 南京信息工程大学
专利摘要 本发明公开了一种石墨烯/氧化物复合光学薄膜的制备方法。是一种在石英片上利用双层辉光等离子物理溅射沉积技术通过两步法实现石墨烯/氧化物复合光学薄膜的制备。具体是将石英片丙酮清洗,高压氮气烘干处理;高纯低熔点和高熔点金属靶作为氧化物的金属元素溅射源,用丙酮进行清洗,同时通入一定比例的氩气和氧气作为金属氧化物的合成气氛条件;将预处理好的基片和靶材样品放入双层辉光等离子溅射腔室内,采用两步法工艺实现氧化物薄膜的制备。
专利价值评估分析
专利价值评估分析 样例
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