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专利基本信息
专利名称 一种原位测试样品台和原位测试方法
专利状态 - 专利号（申请号） CN105928961B
专利申请日期 2016-06-13 专利类型 发明专利
申请公布号 2016104111549 申请公布日 2016-06-13
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 王晋;张跃飞
专利权人 北京工业大学
专利摘要 本发明公开一种原位测试样品台和原位测试方法,包括显微镜腔室、透射电子显微镜TEM样品杆、电子束发射枪、二次电子探头、聚焦离子束发射枪、背散射电子探头和电子背散射探头,显微镜腔室的前表面和后表面之间设置有腔室,背散射电子探头、聚焦离子束发射枪穿设于第二侧面上,上表面上穿设有电子束发射枪,第一侧面上穿设有聚焦离子束发射枪,第四侧面上设置有第一法兰孔,第三侧面上设置有第二法兰孔,TEM样品杆安装于第一法兰孔或第二法兰孔。本发明能使聚焦离子束电子束显微镜与透射电镜能结合起来使用,从块体材料切取后能无污染的、无人为因素损伤的直接转移到透射电镜样品台,并结合两者的显微分析功能实现纳米尺度、原子尺度的原位测试分析。
专利价值评估分析
专利价值评估分析 样例
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