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专利基本信息
专利名称 基于电子储存环的高平均功率极紫外光源装置
专利状态 - 专利号（申请号） CN110944439B
专利申请日期 2019-10-29 专利类型 发明专利
申请公布号 2019110349346 申请公布日 2019-10-29
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 唐传祥;赵午;邓秀杰;黄文会
专利权人 清华大学
专利摘要 本发明涉及一种极紫外光源装置,包括:电子源(2),该电子源提供电子束流;注入段(3),该注入段加速所述电子束流以形成具有一定能量一定长度的电子束流;储存环(4),所述储存环被设计为能约束电子束流做环形运动;其中,所述注入段(3)将所述电子束流在加速后注入到所述储存环(4)内,其中,所述储存环(4)还包括:一个或多个辐射段,每个所述辐射段包括激光调制段(5)、束团压缩段(61)、辐射波荡器、束团拉伸段(62)、激光反调制段(7);一个或多个增能段(8),所述增能段被设计用于为所述储存环(4)中的电子束流补充能量。
专利价值评估分析
专利价值评估分析 样例
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