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专利基本信息
专利名称 一种阵列波导光栅解调集成微系统
专利状态 - 专利号（申请号） CN103235363A
专利申请日期 2013-04-22 专利类型 发明专利
申请公布号 2013101386461 申请公布日 2013-04-22
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 李鸿强;董夏叶;白曜亭;李洋;刘宇;周文骞
专利权人 天津工业大学
专利摘要 本发明公开了一种阵列波导光栅解调集成微系统,包括C波段片上LED光源,2×2光波导耦合器,光纤布拉格光栅阵列,1×8阵列波导光栅,光电探测器阵列,该系统利用电子束曝光和反应耦合等离子工艺,在SOI晶片上制作耦合器和阵列波导光栅,将InP材料制作的LED光源发出的光通过光栅耦合至耦合器波导1,再经耦合器波导2进入光纤布拉格光栅阵列,光纤布拉格光栅阵列反射光再经耦合器波导3进入阵列波导光栅,阵列波导光栅输出波导的光也是通过光栅耦合至其上方的InGaAs光电探测器阵列。本发明公开的阵列波导光栅解调集成微系统具有结构紧凑、器件一体化、成本较低、解调精度高、速度快、提高光路稳定性和可靠性等优点。
专利价值评估分析
专利价值评估分析 样例
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