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专利基本信息
专利名称 微电子机械系统
专利状态 专利权维持 专利号（申请号） 201010002305.8
专利申请日期 2010-01-05 专利类型 发明专利
申请公布号 201010002305 申请公布日 2010-01-05
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 -
专利权人 意法半导体亚太私人有限公司
专利摘要 本发明涉及微电子机械系统(MEMS),更具体地,涉及使用磁性致动的MEMS开关。该MEMS开关可以在没有内部功耗的情况下致动。该开关以集成固态MEMS技术来形成。MEMS开关是微米级和/或纳米级,非常可靠和精确。MEMS开关可以被设计成各种架构,例如悬臂架构和扭转架构。扭转架构比悬臂架构更加高效。
专利价值评估分析
专利价值评估分析 样例
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