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专利基本信息
专利名称 喷砂装置及形成图案的方法
专利状态 专利权维持 专利号（申请号） 2010102680196
专利申请日期 2010-08-31 专利类型 发明专利
申请公布号 201010268019 申请公布日 2010-08-31
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 -
专利权人 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
专利摘要 本发明提供一种喷砂装置,其包括一主体具有一内部空间,一与该主体连接且出口对准该主体内部空间的喷嘴,以及一收容于该主体内部空间且与该喷嘴间隔一定距离的过滤通道。该过滤通道具有一内部通孔用于对准待喷砂的工件预定区域。本发明还提供一种形成图案的方法,其包括步骤:提供一基板,其具有一待形成图案的膜层;覆盖一干膜光阻层于该膜层;提供一具有待形成的图案的光罩并利用该光罩对该干膜光阻层曝光;显影去除可显影溶解的光阻而留下不可显影溶解的光阻成为光阻保护层;利用上述喷砂装置喷砂蚀刻去除未受该光阻保护层遮盖的该膜层;以及去除该光阻保护层,于该基板上形成膜层图案。
专利价值评估分析
专利价值评估分析 样例
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