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专利基本信息
专利名称 一种硼掺杂二氧化钛薄膜的制备方法
专利状态 - 专利号（申请号） CN103088286B
专利申请日期 2013-01-15 专利类型 发明专利
申请公布号 2013100142953 申请公布日 2013-01-15
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 王鹤峰;李飞;李咏梅;黄晓波;张莹;李秀燕;唐宾
专利权人 太原理工大学
专利摘要 本发明涉及一种硼掺杂二氧化钛薄膜的制备方法,包括以下步骤:1)在双层辉光离子渗金属炉中,将固态化合物二硼化钛固定在源极上,金属工件放置在阴极上,阳极接在炉壳上并接地;2)将所述双层辉光离子渗金属炉内部抽真空,充入氩气,然后接通阴极电源,在阳极与阴极间施加直流电压,并使金属工件进行第一次升温,升温后进行离子轰击;控制调节通入氩气和氧气的混合气体,然后再调节阴极电压,同时接通源极电源,在源极与阳极间加直流电压,在源极电压为-900~-1100V的条件下,使金属工件进行第二次升温,然后进行等离子渗镀Ti、B并与O2反应,然后再进行保温,保温后再冷却到室温,即可。本发明工艺简单,生产成本低。
专利价值评估分析
专利价值评估分析 样例
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