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专利基本信息
专利名称 一种超润滑固体涂层制备方法
专利状态 - 专利号（申请号） CN107130223B
专利申请日期 2017-05-08 专利类型 发明专利
申请公布号 2017103167838 申请公布日 2017-05-08
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 廖斌;欧阳晓平;张旭;张丰收;吴先映;罗军;庞盼
专利权人 北京师范大学
专利摘要 本发明公开了一种在机械设备关键部件表面制备结合力优越以及超低摩擦系数的多相混合固体润滑涂层的方法,其中,制备该涂层方法包括:采用金属真空蒸汽离子源方法(MEVVA),在基材表面注入一层能提高膜基结合力的金属″钉扎层″;然后采用磁过滤阴极真空弧沉积方法(FCVA)沉积合金应力释放层,紧接着FCVA以及MEVVA同时工作,并在进气口通入100‑250sccm的乙炔以及30‑80sccm的硫化氢气体,在基材表面沉积总厚度为1‑10微米的多相混合固体润滑TiC‑MoS2‑Ni/Ti‑(a:H‑C)涂层。该发明中磁过滤沉积系统、金属真空蒸汽离子源系统所用阴极为一定配比的TiMoNi合金靶材。通过实施本发明,在关键部件上沉积多相混合固体润滑涂层能够很好的保护机械设备的关键部件,提高设备的稳定性、精度以及服役寿命。
专利价值评估分析
专利价值评估分析 样例
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