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专利基本信息
专利名称 一种基于电磁感应的加热装置
专利状态 - 专利号（申请号） CN107475691B
专利申请日期 2017-08-24 专利类型 发明专利
申请公布号 2017107387998 申请公布日 2017-08-24
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 王晓亮;梅书哲;王权;殷海波;姜丽娟;肖红领;李巍
专利权人 中国科学院半导体研究所;中国科学院大学
专利摘要 本发明提供了一种基于电磁感应的加热装置。利用在托盘周围放置导磁体,使托盘附近集中了绝大部分的磁力线,从而加热温度更高、加热速度更快;利用托盘中磁力线分布均匀,使温度均匀性更好;利用导磁体能够聚集磁力线、引导磁力线方向、减小磁阻且陶瓷盘将托盘向反应腔室下部辐射的热量反射回托盘,使能量利用效率提高;利用大部分磁力线集中在托盘的周围,使磁力线分布的空间范围减小,因此对装置内其他设备及装置外部环境电磁影响减小。
专利价值评估分析
专利价值评估分析 样例
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