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专利基本信息
专利名称 一种气相沉积装置
专利状态 等年登印 专利号(申请号) 2018209332044
专利申请日期 2018-06-15 专利类型 实用新型专利
申请公布号 201820933204 申请公布日 2018-06-15
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 -
专利权人 南通常安能源有限公司
专利摘要 本实用新型公开了一种气相沉积装置,其包括动力机构、真空流量计、连接块、支撑架、转轴、加热炉、反应管、盖板、控制阀、泵、液压表,动力机构与真空流量计相连,动力机构、真空流量计都与连接块相连,连接块与多个支撑架相连,支撑架与反应管相连,连接块与多个转轴相连,转轴位于支撑架一侧,泵安装在反应管一端,盖板与反应管的另一端相连,盖板与控制阀相连,加热炉、液压表都安装在反应管上,加热炉位于液压表一侧,加热炉与多个转轴相连等。本实用新型能够提高工作效率,且操作简单。
专利价值评估分析
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