专利基本信息
| 专利名称 | 一种类单晶硅铸锭工艺 | ||
|---|---|---|---|
| 专利状态 | - | 专利号(申请号) | CN201610159116.9 |
| 专利申请日期 | 2016-03-18 | 专利类型 | 发明专利 |
| 申请公布号 | CN105586632A | 申请公布日 | 2016-05-18 |
| 授权公告号 | CN105586632B | 授权公告日 | 2018-03-30 |
| 发明人 | 王强,黄倩露,周海峰,邓洁 | ||
| 专利权人 | 南通大学 | ||
| 专利摘要 | 本发明涉及一种类单晶硅铸锭工艺,主要步骤包括:在平底坩埚底部籽晶碎块;边框籽晶块沿着坩埚四周内壁插入籽晶碎块;将拼接好的平板籽晶块整体放入坩埚,并沿着边框籽晶块下降,使边框籽晶块压住平板籽晶块;在籽晶块上铺设硅料;将坩埚放入铸锭炉内并抽真空;通过熔化阶段的温度控制,使硅料熔融渗入拼接缝隙,籽晶从与硅液接触的面开始逐渐熔化;经定向散热,在未熔化籽晶上实现硅锭的定向生长,获得类单晶铸锭。相对于传统类单晶硅铸锭工艺,本发明工艺中使用了特有结构的籽晶块,使得铸锭过程中,拼接面缝隙能够得到很好的控制,提高了单晶面积比例;并且由于边框籽晶块的限位作用,防止籽晶块受热翘起,提高铸锭质量。 | ||
专利价值评估分析
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样例
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