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专利基本信息
专利名称 一种类单晶硅铸锭工艺
专利状态 - 专利号(申请号) CN201610159116.9
专利申请日期 2016-03-18 专利类型 发明专利
申请公布号 CN105586632A 申请公布日 2016-05-18
授权公告号 CN105586632B 授权公告日 2018-03-30
发明人 王强,黄倩露,周海峰,邓洁
专利权人 南通大学
专利摘要 本发明涉及一种类单晶硅铸锭工艺,主要步骤包括:在平底坩埚底部籽晶碎块;边框籽晶块沿着坩埚四周内壁插入籽晶碎块;将拼接好的平板籽晶块整体放入坩埚,并沿着边框籽晶块下降,使边框籽晶块压住平板籽晶块;在籽晶块上铺设硅料;将坩埚放入铸锭炉内并抽真空;通过熔化阶段的温度控制,使硅料熔融渗入拼接缝隙,籽晶从与硅液接触的面开始逐渐熔化;经定向散热,在未熔化籽晶上实现硅锭的定向生长,获得类单晶铸锭。相对于传统类单晶硅铸锭工艺,本发明工艺中使用了特有结构的籽晶块,使得铸锭过程中,拼接面缝隙能够得到很好的控制,提高了单晶面积比例;并且由于边框籽晶块的限位作用,防止籽晶块受热翘起,提高铸锭质量。
专利价值评估分析
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