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专利基本信息
专利名称 一种基于离子束技术提高抛光光学玻璃的金刚石砂轮棒寿命的方法及设备
专利状态 - 专利号（申请号） CN105773462B
专利申请日期 2016-01-07 专利类型 发明专利
申请公布号 2016100033818 申请公布日 2016-01-07
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 廖斌;欧阳晓平;罗军;张旭;吴先映;王宇东
专利权人 北京师范大学
专利摘要 本发明公开了一种基于离子束技术提高抛光光学玻璃的金刚石砂轮棒寿命方法,该方法是利用离子注入技术及磁过滤沉积技术在金刚砂表面沉积超厚超硬以及摩擦系数高以及韧性好的(AlTi)1‑xNx/AlTiCN/TiAl/(ZrAl)1‑xNx复合膜,其中,制备该(AlTi)1‑xNx/AlTiCN/TiAl/(ZrAl)1‑xNx复合膜方法包括:采用金属阴极真空磁过滤沉积系统(FCVA),在砂轮棒表面利用高能大束流金属离子束对工件进行清洗;然后采用金属真空蒸汽离子源方法(MEVVA),在工件表面注入一层能提高膜基结合力的金属″钉扎层″;在所述的金属″钉扎层″之上,采用磁过滤阴极真空弧沉积方法(FCVA),在对气体进气量进行正弦或余弦调制沉积得到超硬韧性好的厚(AlTi)1‑xNx/AlTiCN/TiAl/(ZrAl)1‑xNx复合膜层;重复调制周期直至(AlTi)1‑xNx/AlTiCN/TiAl/(ZrAl)1‑xNx复合膜总厚度为10‑30微米。通过实施本发明,在工件沉积(AlTi)1‑xNx/AlTiCN/TiAl/(ZrAl)1‑xNx复合膜具有很好韧性以及很高的显微硬度,能提高砂轮棒寿命2‑5倍。
专利价值评估分析
专利价值评估分析 样例
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