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专利基本信息
专利名称 一种用于扫描电镜观察背散射电子像的样品座
专利状态 - 专利号（申请号） CN213364632U
专利申请日期 2020-06-16 专利类型 实用新型专利
申请公布号 2020211421096 申请公布日 2020-06-16
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 周固;李崧
专利权人 北京师范大学
专利摘要 本实用新型公开了一种用于扫描电镜观察背散射电子像的样品座。该样品座由高角度样品预倾斜放置面和背散射电子反射板组成。合理选择样品和背散射电子反射板的方位可以得到最大的背散射电子检测效率。本发明的目的是利用扫描电镜中已有的二次电子检测器接收背散射电子像,无需改动扫描电镜的电子光学结构即可获得较好的检测效率。本样品座结构简单,成本低,易于操作。
专利价值评估分析
专利价值评估分析 样例
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