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专利基本信息
专利名称 基于微机电系统技术的粘度传感器芯片及其制备方法 | Micro electro mechanical system (MEMS) technology-based viscosity transducer chip and preparation method thereof
专利状态 专利权维持 专利号（申请号） CN101738355B
专利申请日期 - 专利类型 发明专利
申请公布号 - 申请公布日 -
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 -
专利权人 -
专利摘要
专利价值评估分析
专利价值评估分析 样例
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