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专利基本信息
专利名称 一种三压电垂直驱动的三维椭圆微位移运动平台
专利状态 - 专利号（申请号） CN206200568U
专利申请日期 2016-11-09 专利类型 实用新型专利
申请公布号 2016212103573 申请公布日 2016-11-09
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 卢明明;周家康;林洁琼;李迎春;韩金国;赵东坡;李乾;冯答
专利权人 长春工业大学
专利摘要 本实用新型涉及一种三压电垂直驱动的三维椭圆微位移运动平台,属于微纳与超精密制造以及多轴运动平台精密控制领域。包括底座、右侧板、左侧板、上板和微调装置,X轴和Y轴压电叠堆固定在上板,Z轴压电叠堆与其他两个压电叠堆垂直,输入信号驱动三个压电叠堆产生高频振动,带动工件基座上的工件在三维空间产生椭圆运动轨迹,优点是结构新颖、刚度高、平稳性好,四个柔性铰链中心对称分布,易于控制微位移运动平台的运动精度,易于控制微位移运动平台在三维空间中的椭圆轨迹。
专利价值评估分析
专利价值评估分析 样例
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