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专利基本信息
专利名称 一种长管件内壁镀膜的电弧离子镀装置
专利状态 - 专利号（申请号） CN104451562B
专利申请日期 2014-12-08 专利类型 发明专利
申请公布号 2014107491413 申请公布日 2014-12-08
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 宋贵宏;陈立佳;杜昊;迟松江;肖金泉
专利权人 沈阳工业大学
专利摘要 本发明涉及薄膜和涂层制备领域,具体地说是研制一种特殊的电弧离子镀柱状靶弧源及附属部件,用以在长管件内表面和深孔器件孔内壁沉积薄膜和涂层,实现军工和特殊部件内壁表面改性目的。其特征在于:该长管件内壁镀膜的电弧离子镀装置,设有真空室、柱状靶弧源、引弧装置、固定管件的样品架、圆形均气管、样品架加热系统、阴极靶材与样品架偏压系统、抽真空系统、控制柜、阴极靶电源、偏压电源和工作台。本发明的目的是提供一种新型的由柱状靶弧源及附属部件实现长管件内壁镀膜的电弧离子镀装置,用以实现对长管件内表面和深孔器件孔内壁防护和改性的目的。
专利价值评估分析
专利价值评估分析 样例
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