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专利号：201310378789.X专利类型：发明专利微电子控制开关
专利号：201410464501.5专利类型：发明专利微电子机械系统
专利号：201010002305.8专利类型：发明专利一种微电子封装热膨胀系数可靠性匹配优化方法
专利号：2014107662864专利类型：发明专利一种基于硅转接板的全硅三维封装结构
专利号：2017217450067专利类型：实用新型专利一种机械密封式微型热导检测器
专利号：CN209673693U专利类型：实用新型专利一种基于谐振式薄膜热电变换器的高精度电压/电流表
专利号：CN108828297B专利类型：发明专利Cu/SnSe纳米复合多层相变薄膜及其制备和应用
专利号：CN108878645B专利类型：发明专利聚乙二醇固定的桔小实蝇气味结合蛋白传感器的制备方法
专利号：2014100288216专利类型：发明专利一种新型真空微电子压力传感器
专利号：2017107269205专利类型：发明专利