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专利基本信息
专利名称 冷阴极电弧等离子源及非接触引弧方法
专利状态 - 专利号（申请号） CN108286038B
专利申请日期 2018-01-23 专利类型 发明专利
申请公布号 2018100654102 申请公布日 2018-01-23
授权公告号 - 授权公告日 -
发明人 王向红;黄志宏;吴百中;陈上挺
专利权人 温州职业技术学院
专利摘要 本发明公开了冷阴极电弧等离子源及非接触引弧方法,该等离子源包括阴极基板、水冷铜板、铜板压环、阴极靶、压靶环、限弧组件、线圈组件和点火组件;水冷铜板设于阴极基板上,阴极靶设于水冷铜板上;铜板压环设于水冷铜板周围,且铜板压环的厚度大于水冷铜板的厚度;压靶环设于阴极靶周围,且与阴极靶周围形成一空腔;压靶环上均布有与该空腔连通的若干进气孔;限弧组件设于阴极靶周围;线圈组件设于阴极基板下;阴极基板和阴极靶中心均设有中心通孔,点火组件设于该中心通孔内。本发明等离子源不存在移动部件,制作成本低,方便安装维护,且节省安装空间;本发明引弧方法可避免因阴极和阳极过近所导致的不利影响。
专利价值评估分析
专利价值评估分析 样例
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