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一种液压传动的加速质量阻尼系统
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：建筑业
技术简介
本发明提供了一种液压传动的加速质量阻尼系统。该液压传动加速质量阻尼系统包括调谐质量块、液压传动器、弹簧和连接件，可以有效的减少地震力产生的主梁的纵向位移，从而减小桥墩的弯矩。在主梁的底部设置连接件，与桥墩上的液压传动器连接；液压传动器为两个连在一起的不同直径的油缸，大直径活塞与主梁相连接，小直径活塞与附加质量块相连接；在桥墩处设置竖向运动的质量块，用钢丝绳与液压传动器相连；质量块的下端连接弹簧。主梁在地震时获得的动能经液压传动器传递给调谐质量块，液压传动器能够把质量块的速度放大，使质量块吸收更多的动能，从而减小主梁的动能，达到减震的目的。
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孔缝八梁式加速度传感器芯片
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
孔缝八梁式加速度传感器芯片，包括硅基底和键合于硅基底背面的硼玻璃衬底，硅基底的中心空腔内配置有悬空质量块，四个短小敏感梁沿着悬空质量块的一组对边对称排布，四个宽大支撑梁分别与悬空质量块的另一组对边的四角相连，短小敏感梁和宽大支撑梁共同支撑悬空质量块，在每个短小敏感梁与悬空质量块相连接的半边设有一个应力集中孔，每个应力集中孔两侧布置的两根压敏电阻条连接组成一个压敏电阻，四个压敏电阻连接组成半开环惠斯通全桥检测电路与焊盘相连，本发明一方面通过在短小敏感梁上开孔缓解固有频率与测量灵敏度之间的制约关系，获得高频响、高灵敏度的加速度传感器，另一方面通过梁的四角排布方式有效的降低了横向灵敏度。
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一种多级台阶高过载谐振式加速度计芯片
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
一种多级台阶高过载谐振式加速度计芯片，由硅基底和石英音叉梁组成，硅基底由外围的支撑框架和内部的敏感质量块组成，支撑框架和敏感质量块上分别带有过载止挡结构，并通过柔性支撑梁连接为一个整体，硅基底上的敏感质量块上开有供石英音叉梁安装和运动的安装对准标记和空槽，且均对称分布于非敏感方向轴线两侧，与被测加速度方向垂直；通过两石英音叉梁频率变化的差值确定加速度大小；当芯片受到过载冲击加速度时，敏感质量块上的过载止挡结构与支撑框架上的过载止挡结构发生硬接触，阻止石英音叉梁和柔性支撑梁进一步变形造成的破坏；本发明能减少恶劣环境对传感器的影响和破坏，扩大应用范围，并且具有准数字输出，精度高，体积小等优点。
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微压电加速度传感器芯片及其制作方法
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
本发明公开了一种微压电加速度传感器芯片及其制作方法，芯片由一对敏感梁与一对补充梁共同支撑悬空质量块并使其悬空，质量块与敏感梁、补充梁及边框间有一定距离，使其保证质量块振动时不影响敏感梁及补充梁的运动，充分利用空间，增加质量块质量，从而增加了结构的灵敏度，敏感梁上布置了压电薄膜，压电薄膜的上下表面都布置有上下电极，其中芯片的制作方法是通过干法刻蚀以及光刻得到硅基底中的由悬空质量块、敏感梁和补充梁组成的可动结构，正面光刻并溅射形成芯片的上下电极，在硅质基底的背面粘结硼玻璃，硼玻璃与悬空质量块预留有一工作间隙，最后得到芯片，该芯片能够满足高灵敏度、低侧向效应的要求。
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一种基于金属波纹管结构的光纤光栅加速度传感器
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
摘要：一种基于金属波纹管结构的光纤光栅加速度传感器，金属波纹管的上端设置在加工有通孔的外壳内顶部下表面，金属波纹管下端设置有质量块，外壳下端设置加工有通孔、且与密封盖联接的端盖，密封盖的下端设置有传感器接头，在金属波纹管内部设置有振动传感光纤光栅，振动传感光纤光栅的光纤上部固定在外壳上，振动传感光纤光栅的光纤下部穿过质量块的中心通孔固定在质量块上、从密封盖侧壁上的通孔引出并固定在密封盖侧壁上。本发明与现有的加速度传感器相比较，具有结构简单、体积小、灵敏度高、频谱范围宽、器形细长、易于串联组装等优点，可实现多点分布和动态在线实时监测。
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一种机械手的减振块
成熟度：正在研发
技术类型：实用新型
应用行业：制造业
技术简介
机械手的减振块，减振模块安装于中空的机械手引拔臂中，减振模块由两组弹簧和质量块组成，一组质量块位于弹簧的三分之一处，另一组质量块位于弹簧的三分之二处。
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用于低频地震波监测的光纤布拉格光栅振动加速度传感器
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
摘要：一种用于低频地震波监测的光纤布拉格光栅振动加速度传感器，在空心杆上部侧壁上加工有开槽a、下端设上垫片和外沿间隔均布加工有3～8个刻槽的下垫片，开槽a下方空心杆上设上制动块和位于上制动块下的下制动块，上制动块与下制动块之间的空心杆上设沿空心杆移动的质量块，质量块的上表面与上制动块底面间的距离为4mm、下表面与下制动块上表面间的距离为8mm，质量块的下方空心杆上设置由3～8片弹性臂的上端与圆片连为一体、自由端设置在下垫片上构成的弹性梁，在任意一片弹性臂的外侧面上设振动传感光纤光栅，振动传感光纤光栅的输入端和输出端从开槽a穿入空心杆从空心杆上端穿出。
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钳位可控型盘状旋转式惯性压电作动器及作动方法
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
钳位可控型盘状旋转式惯性压电作动器及作动方法，该作动器由底座、钳位外壳、轴承、输出环、钳位菱形环、钳位压电堆、主运动块、质量块、驱动菱形环和驱动压电堆组成，整个作动器结构对称；钳位菱形环和驱动菱形环内分别过盈配合有钳位压电堆和驱动压电堆，质量块和上述部件均不与底座接触，质心均在平行于底座的同一平面内；输出环通过轴承与底座中心的固定轴连接，端面与输出环外环面固接的两个钳位菱形环径向布置于同一直径的两侧，钳位菱形环与驱动菱形环的轴线相互垂直，两者由放置于底座平面上的主运动块相邻侧面衔接，质量块侧面与驱动菱形环固接且悬空于底座上方；本发明结构新颖，钳位可靠，能够实现双向旋转。
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复合八梁高频响加速度传感器芯片
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
复合八梁高频响加速度传感器芯片，包括硅基底和键合于硅基底背面的硼玻璃衬底，硅基底的中心空腔内配置有悬空质量块，四个短小敏感梁沿着悬空质量块的一组对边对称排布，四个宽大支撑梁分别与悬空质量块的另一组对边的四角相连，短小敏感梁和宽大支撑梁共同支撑悬空质量块，使其保持悬空状态，每个短小敏感梁上均制作一个压敏电阻，四个压敏电阻通过金属引线连接组成的半开环惠斯通全桥检测电路与焊盘相连，本发明一方面通过四个短小敏感梁和四个宽大支撑梁的组合方式缓解固有频率与测量灵敏度之间的制约关系，获得高频响、高灵敏度的加速度传感器，另一方面通过梁的四角排布方式有效的降低了横向灵敏度。
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一种多梁式双质量块加速度传感器芯片及其制备方法
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
本发明提供一种多梁式双质量块加速度传感器芯片及其制备方法，传感器芯片采用SOI硅片制造，包括支撑梁、敏感压阻梁以及引线、焊盘等。支撑梁为双端固支梁，其两端固定于芯片外框固支端，支撑梁上对称分布两个质量块，两质量块之间保持一定距离；芯片中四个敏感压阻梁对称分布在支撑梁两侧，且敏感压阻梁一端与质量块的边角连接，另一端与芯片外框固支端连接；四个敏感压阻梁上的压敏电阻通过金属引线相连并构成半开环的惠斯通全桥电路，四个压敏电阻同时通过金属引线和六个金属焊盘连接，该传感器芯片可实现100g以下加速度的测量，固有频率达15kHz以上，满足低g值动态加速度测量的要求。
找到22项技术成果数据。
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一种液压传动的加速质量阻尼系统
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：建筑业
技术简介
本发明提供了一种液压传动的加速质量阻尼系统。该液压传动加速质量阻尼系统包括调谐质量块、液压传动器、弹簧和连接件，可以有效的减少地震力产生的主梁的纵向位移，从而减小桥墩的弯矩。在主梁的底部设置连接件，与桥墩上的液压传动器连接；液压传动器为两个连在一起的不同直径的油缸，大直径活塞与主梁相连接，小直径活塞与附加质量块相连接；在桥墩处设置竖向运动的质量块，用钢丝绳与液压传动器相连；质量块的下端连接弹簧。主梁在地震时获得的动能经液压传动器传递给调谐质量块，液压传动器能够把质量块的速度放大，使质量块吸收更多的动能，从而减小主梁的动能，达到减震的目的。
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孔缝八梁式加速度传感器芯片
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
孔缝八梁式加速度传感器芯片，包括硅基底和键合于硅基底背面的硼玻璃衬底，硅基底的中心空腔内配置有悬空质量块，四个短小敏感梁沿着悬空质量块的一组对边对称排布，四个宽大支撑梁分别与悬空质量块的另一组对边的四角相连，短小敏感梁和宽大支撑梁共同支撑悬空质量块，在每个短小敏感梁与悬空质量块相连接的半边设有一个应力集中孔，每个应力集中孔两侧布置的两根压敏电阻条连接组成一个压敏电阻，四个压敏电阻连接组成半开环惠斯通全桥检测电路与焊盘相连，本发明一方面通过在短小敏感梁上开孔缓解固有频率与测量灵敏度之间的制约关系，获得高频响、高灵敏度的加速度传感器，另一方面通过梁的四角排布方式有效的降低了横向灵敏度。
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一种多级台阶高过载谐振式加速度计芯片
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
一种多级台阶高过载谐振式加速度计芯片，由硅基底和石英音叉梁组成，硅基底由外围的支撑框架和内部的敏感质量块组成，支撑框架和敏感质量块上分别带有过载止挡结构，并通过柔性支撑梁连接为一个整体，硅基底上的敏感质量块上开有供石英音叉梁安装和运动的安装对准标记和空槽，且均对称分布于非敏感方向轴线两侧，与被测加速度方向垂直；通过两石英音叉梁频率变化的差值确定加速度大小；当芯片受到过载冲击加速度时，敏感质量块上的过载止挡结构与支撑框架上的过载止挡结构发生硬接触，阻止石英音叉梁和柔性支撑梁进一步变形造成的破坏；本发明能减少恶劣环境对传感器的影响和破坏，扩大应用范围，并且具有准数字输出，精度高，体积小等优点。
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微压电加速度传感器芯片及其制作方法
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
本发明公开了一种微压电加速度传感器芯片及其制作方法，芯片由一对敏感梁与一对补充梁共同支撑悬空质量块并使其悬空，质量块与敏感梁、补充梁及边框间有一定距离，使其保证质量块振动时不影响敏感梁及补充梁的运动，充分利用空间，增加质量块质量，从而增加了结构的灵敏度，敏感梁上布置了压电薄膜，压电薄膜的上下表面都布置有上下电极，其中芯片的制作方法是通过干法刻蚀以及光刻得到硅基底中的由悬空质量块、敏感梁和补充梁组成的可动结构，正面光刻并溅射形成芯片的上下电极，在硅质基底的背面粘结硼玻璃，硼玻璃与悬空质量块预留有一工作间隙，最后得到芯片，该芯片能够满足高灵敏度、低侧向效应的要求。
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一种基于金属波纹管结构的光纤光栅加速度传感器
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
摘要：一种基于金属波纹管结构的光纤光栅加速度传感器，金属波纹管的上端设置在加工有通孔的外壳内顶部下表面，金属波纹管下端设置有质量块，外壳下端设置加工有通孔、且与密封盖联接的端盖，密封盖的下端设置有传感器接头，在金属波纹管内部设置有振动传感光纤光栅，振动传感光纤光栅的光纤上部固定在外壳上，振动传感光纤光栅的光纤下部穿过质量块的中心通孔固定在质量块上、从密封盖侧壁上的通孔引出并固定在密封盖侧壁上。本发明与现有的加速度传感器相比较，具有结构简单、体积小、灵敏度高、频谱范围宽、器形细长、易于串联组装等优点，可实现多点分布和动态在线实时监测。
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一种机械手的减振块
成熟度：正在研发
技术类型：实用新型
应用行业：制造业
技术简介
机械手的减振块，减振模块安装于中空的机械手引拔臂中，减振模块由两组弹簧和质量块组成，一组质量块位于弹簧的三分之一处，另一组质量块位于弹簧的三分之二处。
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用于低频地震波监测的光纤布拉格光栅振动加速度传感器
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
摘要：一种用于低频地震波监测的光纤布拉格光栅振动加速度传感器，在空心杆上部侧壁上加工有开槽a、下端设上垫片和外沿间隔均布加工有3～8个刻槽的下垫片，开槽a下方空心杆上设上制动块和位于上制动块下的下制动块，上制动块与下制动块之间的空心杆上设沿空心杆移动的质量块，质量块的上表面与上制动块底面间的距离为4mm、下表面与下制动块上表面间的距离为8mm，质量块的下方空心杆上设置由3～8片弹性臂的上端与圆片连为一体、自由端设置在下垫片上构成的弹性梁，在任意一片弹性臂的外侧面上设振动传感光纤光栅，振动传感光纤光栅的输入端和输出端从开槽a穿入空心杆从空心杆上端穿出。
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钳位可控型盘状旋转式惯性压电作动器及作动方法
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
钳位可控型盘状旋转式惯性压电作动器及作动方法，该作动器由底座、钳位外壳、轴承、输出环、钳位菱形环、钳位压电堆、主运动块、质量块、驱动菱形环和驱动压电堆组成，整个作动器结构对称；钳位菱形环和驱动菱形环内分别过盈配合有钳位压电堆和驱动压电堆，质量块和上述部件均不与底座接触，质心均在平行于底座的同一平面内；输出环通过轴承与底座中心的固定轴连接，端面与输出环外环面固接的两个钳位菱形环径向布置于同一直径的两侧，钳位菱形环与驱动菱形环的轴线相互垂直，两者由放置于底座平面上的主运动块相邻侧面衔接，质量块侧面与驱动菱形环固接且悬空于底座上方；本发明结构新颖，钳位可靠，能够实现双向旋转。
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复合八梁高频响加速度传感器芯片
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
复合八梁高频响加速度传感器芯片，包括硅基底和键合于硅基底背面的硼玻璃衬底，硅基底的中心空腔内配置有悬空质量块，四个短小敏感梁沿着悬空质量块的一组对边对称排布，四个宽大支撑梁分别与悬空质量块的另一组对边的四角相连，短小敏感梁和宽大支撑梁共同支撑悬空质量块，使其保持悬空状态，每个短小敏感梁上均制作一个压敏电阻，四个压敏电阻通过金属引线连接组成的半开环惠斯通全桥检测电路与焊盘相连，本发明一方面通过四个短小敏感梁和四个宽大支撑梁的组合方式缓解固有频率与测量灵敏度之间的制约关系，获得高频响、高灵敏度的加速度传感器，另一方面通过梁的四角排布方式有效的降低了横向灵敏度。
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一种多梁式双质量块加速度传感器芯片及其制备方法
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
本发明提供一种多梁式双质量块加速度传感器芯片及其制备方法，传感器芯片采用SOI硅片制造，包括支撑梁、敏感压阻梁以及引线、焊盘等。支撑梁为双端固支梁，其两端固定于芯片外框固支端，支撑梁上对称分布两个质量块，两质量块之间保持一定距离；芯片中四个敏感压阻梁对称分布在支撑梁两侧，且敏感压阻梁一端与质量块的边角连接，另一端与芯片外框固支端连接；四个敏感压阻梁上的压敏电阻通过金属引线相连并构成半开环的惠斯通全桥电路，四个压敏电阻同时通过金属引线和六个金属焊盘连接，该传感器芯片可实现100g以下加速度的测量，固有频率达15kHz以上，满足低g值动态加速度测量的要求。
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一种液压传动的加速质量阻尼系统
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：建筑业
技术简介
本发明提供了一种液压传动的加速质量阻尼系统。该液压传动加速质量阻尼系统包括调谐质量块、液压传动器、弹簧和连接件，可以有效的减少地震力产生的主梁的纵向位移，从而减小桥墩的弯矩。在主梁的底部设置连接件，与桥墩上的液压传动器连接；液压传动器为两个连在一起的不同直径的油缸，大直径活塞与主梁相连接，小直径活塞与附加质量块相连接；在桥墩处设置竖向运动的质量块，用钢丝绳与液压传动器相连；质量块的下端连接弹簧。主梁在地震时获得的动能经液压传动器传递给调谐质量块，液压传动器能够把质量块的速度放大，使质量块吸收更多的动能，从而减小主梁的动能，达到减震的目的。
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孔缝八梁式加速度传感器芯片
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
孔缝八梁式加速度传感器芯片，包括硅基底和键合于硅基底背面的硼玻璃衬底，硅基底的中心空腔内配置有悬空质量块，四个短小敏感梁沿着悬空质量块的一组对边对称排布，四个宽大支撑梁分别与悬空质量块的另一组对边的四角相连，短小敏感梁和宽大支撑梁共同支撑悬空质量块，在每个短小敏感梁与悬空质量块相连接的半边设有一个应力集中孔，每个应力集中孔两侧布置的两根压敏电阻条连接组成一个压敏电阻，四个压敏电阻连接组成半开环惠斯通全桥检测电路与焊盘相连，本发明一方面通过在短小敏感梁上开孔缓解固有频率与测量灵敏度之间的制约关系，获得高频响、高灵敏度的加速度传感器，另一方面通过梁的四角排布方式有效的降低了横向灵敏度。
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一种多级台阶高过载谐振式加速度计芯片
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
一种多级台阶高过载谐振式加速度计芯片，由硅基底和石英音叉梁组成，硅基底由外围的支撑框架和内部的敏感质量块组成，支撑框架和敏感质量块上分别带有过载止挡结构，并通过柔性支撑梁连接为一个整体，硅基底上的敏感质量块上开有供石英音叉梁安装和运动的安装对准标记和空槽，且均对称分布于非敏感方向轴线两侧，与被测加速度方向垂直；通过两石英音叉梁频率变化的差值确定加速度大小；当芯片受到过载冲击加速度时，敏感质量块上的过载止挡结构与支撑框架上的过载止挡结构发生硬接触，阻止石英音叉梁和柔性支撑梁进一步变形造成的破坏；本发明能减少恶劣环境对传感器的影响和破坏，扩大应用范围，并且具有准数字输出，精度高，体积小等优点。
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微压电加速度传感器芯片及其制作方法
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
本发明公开了一种微压电加速度传感器芯片及其制作方法，芯片由一对敏感梁与一对补充梁共同支撑悬空质量块并使其悬空，质量块与敏感梁、补充梁及边框间有一定距离，使其保证质量块振动时不影响敏感梁及补充梁的运动，充分利用空间，增加质量块质量，从而增加了结构的灵敏度，敏感梁上布置了压电薄膜，压电薄膜的上下表面都布置有上下电极，其中芯片的制作方法是通过干法刻蚀以及光刻得到硅基底中的由悬空质量块、敏感梁和补充梁组成的可动结构，正面光刻并溅射形成芯片的上下电极，在硅质基底的背面粘结硼玻璃，硼玻璃与悬空质量块预留有一工作间隙，最后得到芯片，该芯片能够满足高灵敏度、低侧向效应的要求。
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一种基于金属波纹管结构的光纤光栅加速度传感器
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
摘要：一种基于金属波纹管结构的光纤光栅加速度传感器，金属波纹管的上端设置在加工有通孔的外壳内顶部下表面，金属波纹管下端设置有质量块，外壳下端设置加工有通孔、且与密封盖联接的端盖，密封盖的下端设置有传感器接头，在金属波纹管内部设置有振动传感光纤光栅，振动传感光纤光栅的光纤上部固定在外壳上，振动传感光纤光栅的光纤下部穿过质量块的中心通孔固定在质量块上、从密封盖侧壁上的通孔引出并固定在密封盖侧壁上。本发明与现有的加速度传感器相比较，具有结构简单、体积小、灵敏度高、频谱范围宽、器形细长、易于串联组装等优点，可实现多点分布和动态在线实时监测。
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一种机械手的减振块
成熟度：正在研发
技术类型：实用新型
应用行业：制造业
技术简介
机械手的减振块，减振模块安装于中空的机械手引拔臂中，减振模块由两组弹簧和质量块组成，一组质量块位于弹簧的三分之一处，另一组质量块位于弹簧的三分之二处。
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用于低频地震波监测的光纤布拉格光栅振动加速度传感器
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
摘要：一种用于低频地震波监测的光纤布拉格光栅振动加速度传感器，在空心杆上部侧壁上加工有开槽a、下端设上垫片和外沿间隔均布加工有3～8个刻槽的下垫片，开槽a下方空心杆上设上制动块和位于上制动块下的下制动块，上制动块与下制动块之间的空心杆上设沿空心杆移动的质量块，质量块的上表面与上制动块底面间的距离为4mm、下表面与下制动块上表面间的距离为8mm，质量块的下方空心杆上设置由3～8片弹性臂的上端与圆片连为一体、自由端设置在下垫片上构成的弹性梁，在任意一片弹性臂的外侧面上设振动传感光纤光栅，振动传感光纤光栅的输入端和输出端从开槽a穿入空心杆从空心杆上端穿出。
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钳位可控型盘状旋转式惯性压电作动器及作动方法
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
钳位可控型盘状旋转式惯性压电作动器及作动方法，该作动器由底座、钳位外壳、轴承、输出环、钳位菱形环、钳位压电堆、主运动块、质量块、驱动菱形环和驱动压电堆组成，整个作动器结构对称；钳位菱形环和驱动菱形环内分别过盈配合有钳位压电堆和驱动压电堆，质量块和上述部件均不与底座接触，质心均在平行于底座的同一平面内；输出环通过轴承与底座中心的固定轴连接，端面与输出环外环面固接的两个钳位菱形环径向布置于同一直径的两侧，钳位菱形环与驱动菱形环的轴线相互垂直，两者由放置于底座平面上的主运动块相邻侧面衔接，质量块侧面与驱动菱形环固接且悬空于底座上方；本发明结构新颖，钳位可靠，能够实现双向旋转。
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复合八梁高频响加速度传感器芯片
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
复合八梁高频响加速度传感器芯片，包括硅基底和键合于硅基底背面的硼玻璃衬底，硅基底的中心空腔内配置有悬空质量块，四个短小敏感梁沿着悬空质量块的一组对边对称排布，四个宽大支撑梁分别与悬空质量块的另一组对边的四角相连，短小敏感梁和宽大支撑梁共同支撑悬空质量块，使其保持悬空状态，每个短小敏感梁上均制作一个压敏电阻，四个压敏电阻通过金属引线连接组成的半开环惠斯通全桥检测电路与焊盘相连，本发明一方面通过四个短小敏感梁和四个宽大支撑梁的组合方式缓解固有频率与测量灵敏度之间的制约关系，获得高频响、高灵敏度的加速度传感器，另一方面通过梁的四角排布方式有效的降低了横向灵敏度。
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一种多梁式双质量块加速度传感器芯片及其制备方法
成熟度：正在研发
技术类型：发明
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本发明提供一种多梁式双质量块加速度传感器芯片及其制备方法，传感器芯片采用SOI硅片制造，包括支撑梁、敏感压阻梁以及引线、焊盘等。支撑梁为双端固支梁，其两端固定于芯片外框固支端，支撑梁上对称分布两个质量块，两质量块之间保持一定距离；芯片中四个敏感压阻梁对称分布在支撑梁两侧，且敏感压阻梁一端与质量块的边角连接，另一端与芯片外框固支端连接；四个敏感压阻梁上的压敏电阻通过金属引线相连并构成半开环的惠斯通全桥电路，四个压敏电阻同时通过金属引线和六个金属焊盘连接，该传感器芯片可实现100g以下加速度的测量，固有频率达15kHz以上，满足低g值动态加速度测量的要求。
找到22项技术成果数据。
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一种液压传动的加速质量阻尼系统
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：建筑业
技术简介
本发明提供了一种液压传动的加速质量阻尼系统。该液压传动加速质量阻尼系统包括调谐质量块、液压传动器、弹簧和连接件，可以有效的减少地震力产生的主梁的纵向位移，从而减小桥墩的弯矩。在主梁的底部设置连接件，与桥墩上的液压传动器连接；液压传动器为两个连在一起的不同直径的油缸，大直径活塞与主梁相连接，小直径活塞与附加质量块相连接；在桥墩处设置竖向运动的质量块，用钢丝绳与液压传动器相连；质量块的下端连接弹簧。主梁在地震时获得的动能经液压传动器传递给调谐质量块，液压传动器能够把质量块的速度放大，使质量块吸收更多的动能，从而减小主梁的动能，达到减震的目的。
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孔缝八梁式加速度传感器芯片
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
孔缝八梁式加速度传感器芯片，包括硅基底和键合于硅基底背面的硼玻璃衬底，硅基底的中心空腔内配置有悬空质量块，四个短小敏感梁沿着悬空质量块的一组对边对称排布，四个宽大支撑梁分别与悬空质量块的另一组对边的四角相连，短小敏感梁和宽大支撑梁共同支撑悬空质量块，在每个短小敏感梁与悬空质量块相连接的半边设有一个应力集中孔，每个应力集中孔两侧布置的两根压敏电阻条连接组成一个压敏电阻，四个压敏电阻连接组成半开环惠斯通全桥检测电路与焊盘相连，本发明一方面通过在短小敏感梁上开孔缓解固有频率与测量灵敏度之间的制约关系，获得高频响、高灵敏度的加速度传感器，另一方面通过梁的四角排布方式有效的降低了横向灵敏度。
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一种多级台阶高过载谐振式加速度计芯片
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
一种多级台阶高过载谐振式加速度计芯片，由硅基底和石英音叉梁组成，硅基底由外围的支撑框架和内部的敏感质量块组成，支撑框架和敏感质量块上分别带有过载止挡结构，并通过柔性支撑梁连接为一个整体，硅基底上的敏感质量块上开有供石英音叉梁安装和运动的安装对准标记和空槽，且均对称分布于非敏感方向轴线两侧，与被测加速度方向垂直；通过两石英音叉梁频率变化的差值确定加速度大小；当芯片受到过载冲击加速度时，敏感质量块上的过载止挡结构与支撑框架上的过载止挡结构发生硬接触，阻止石英音叉梁和柔性支撑梁进一步变形造成的破坏；本发明能减少恶劣环境对传感器的影响和破坏，扩大应用范围，并且具有准数字输出，精度高，体积小等优点。
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微压电加速度传感器芯片及其制作方法
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
本发明公开了一种微压电加速度传感器芯片及其制作方法，芯片由一对敏感梁与一对补充梁共同支撑悬空质量块并使其悬空，质量块与敏感梁、补充梁及边框间有一定距离，使其保证质量块振动时不影响敏感梁及补充梁的运动，充分利用空间，增加质量块质量，从而增加了结构的灵敏度，敏感梁上布置了压电薄膜，压电薄膜的上下表面都布置有上下电极，其中芯片的制作方法是通过干法刻蚀以及光刻得到硅基底中的由悬空质量块、敏感梁和补充梁组成的可动结构，正面光刻并溅射形成芯片的上下电极，在硅质基底的背面粘结硼玻璃，硼玻璃与悬空质量块预留有一工作间隙，最后得到芯片，该芯片能够满足高灵敏度、低侧向效应的要求。
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一种基于金属波纹管结构的光纤光栅加速度传感器
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
摘要：一种基于金属波纹管结构的光纤光栅加速度传感器，金属波纹管的上端设置在加工有通孔的外壳内顶部下表面，金属波纹管下端设置有质量块，外壳下端设置加工有通孔、且与密封盖联接的端盖，密封盖的下端设置有传感器接头，在金属波纹管内部设置有振动传感光纤光栅，振动传感光纤光栅的光纤上部固定在外壳上，振动传感光纤光栅的光纤下部穿过质量块的中心通孔固定在质量块上、从密封盖侧壁上的通孔引出并固定在密封盖侧壁上。本发明与现有的加速度传感器相比较，具有结构简单、体积小、灵敏度高、频谱范围宽、器形细长、易于串联组装等优点，可实现多点分布和动态在线实时监测。
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一种机械手的减振块
成熟度：正在研发
技术类型：实用新型
应用行业：制造业
技术简介
机械手的减振块，减振模块安装于中空的机械手引拔臂中，减振模块由两组弹簧和质量块组成，一组质量块位于弹簧的三分之一处，另一组质量块位于弹簧的三分之二处。
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用于低频地震波监测的光纤布拉格光栅振动加速度传感器
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
摘要：一种用于低频地震波监测的光纤布拉格光栅振动加速度传感器，在空心杆上部侧壁上加工有开槽a、下端设上垫片和外沿间隔均布加工有3～8个刻槽的下垫片，开槽a下方空心杆上设上制动块和位于上制动块下的下制动块，上制动块与下制动块之间的空心杆上设沿空心杆移动的质量块，质量块的上表面与上制动块底面间的距离为4mm、下表面与下制动块上表面间的距离为8mm，质量块的下方空心杆上设置由3～8片弹性臂的上端与圆片连为一体、自由端设置在下垫片上构成的弹性梁，在任意一片弹性臂的外侧面上设振动传感光纤光栅，振动传感光纤光栅的输入端和输出端从开槽a穿入空心杆从空心杆上端穿出。
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钳位可控型盘状旋转式惯性压电作动器及作动方法
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
钳位可控型盘状旋转式惯性压电作动器及作动方法，该作动器由底座、钳位外壳、轴承、输出环、钳位菱形环、钳位压电堆、主运动块、质量块、驱动菱形环和驱动压电堆组成，整个作动器结构对称；钳位菱形环和驱动菱形环内分别过盈配合有钳位压电堆和驱动压电堆，质量块和上述部件均不与底座接触，质心均在平行于底座的同一平面内；输出环通过轴承与底座中心的固定轴连接，端面与输出环外环面固接的两个钳位菱形环径向布置于同一直径的两侧，钳位菱形环与驱动菱形环的轴线相互垂直，两者由放置于底座平面上的主运动块相邻侧面衔接，质量块侧面与驱动菱形环固接且悬空于底座上方；本发明结构新颖，钳位可靠，能够实现双向旋转。
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复合八梁高频响加速度传感器芯片
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
复合八梁高频响加速度传感器芯片，包括硅基底和键合于硅基底背面的硼玻璃衬底，硅基底的中心空腔内配置有悬空质量块，四个短小敏感梁沿着悬空质量块的一组对边对称排布，四个宽大支撑梁分别与悬空质量块的另一组对边的四角相连，短小敏感梁和宽大支撑梁共同支撑悬空质量块，使其保持悬空状态，每个短小敏感梁上均制作一个压敏电阻，四个压敏电阻通过金属引线连接组成的半开环惠斯通全桥检测电路与焊盘相连，本发明一方面通过四个短小敏感梁和四个宽大支撑梁的组合方式缓解固有频率与测量灵敏度之间的制约关系，获得高频响、高灵敏度的加速度传感器，另一方面通过梁的四角排布方式有效的降低了横向灵敏度。
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一种多梁式双质量块加速度传感器芯片及其制备方法
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
本发明提供一种多梁式双质量块加速度传感器芯片及其制备方法，传感器芯片采用SOI硅片制造，包括支撑梁、敏感压阻梁以及引线、焊盘等。支撑梁为双端固支梁，其两端固定于芯片外框固支端，支撑梁上对称分布两个质量块，两质量块之间保持一定距离；芯片中四个敏感压阻梁对称分布在支撑梁两侧，且敏感压阻梁一端与质量块的边角连接，另一端与芯片外框固支端连接；四个敏感压阻梁上的压敏电阻通过金属引线相连并构成半开环的惠斯通全桥电路，四个压敏电阻同时通过金属引线和六个金属焊盘连接，该传感器芯片可实现100g以下加速度的测量，固有频率达15kHz以上，满足低g值动态加速度测量的要求。
找到22项技术成果数据。
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一种液压传动的加速质量阻尼系统
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：建筑业
技术简介
本发明提供了一种液压传动的加速质量阻尼系统。该液压传动加速质量阻尼系统包括调谐质量块、液压传动器、弹簧和连接件，可以有效的减少地震力产生的主梁的纵向位移，从而减小桥墩的弯矩。在主梁的底部设置连接件，与桥墩上的液压传动器连接；液压传动器为两个连在一起的不同直径的油缸，大直径活塞与主梁相连接，小直径活塞与附加质量块相连接；在桥墩处设置竖向运动的质量块，用钢丝绳与液压传动器相连；质量块的下端连接弹簧。主梁在地震时获得的动能经液压传动器传递给调谐质量块，液压传动器能够把质量块的速度放大，使质量块吸收更多的动能，从而减小主梁的动能，达到减震的目的。
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孔缝八梁式加速度传感器芯片
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
孔缝八梁式加速度传感器芯片，包括硅基底和键合于硅基底背面的硼玻璃衬底，硅基底的中心空腔内配置有悬空质量块，四个短小敏感梁沿着悬空质量块的一组对边对称排布，四个宽大支撑梁分别与悬空质量块的另一组对边的四角相连，短小敏感梁和宽大支撑梁共同支撑悬空质量块，在每个短小敏感梁与悬空质量块相连接的半边设有一个应力集中孔，每个应力集中孔两侧布置的两根压敏电阻条连接组成一个压敏电阻，四个压敏电阻连接组成半开环惠斯通全桥检测电路与焊盘相连，本发明一方面通过在短小敏感梁上开孔缓解固有频率与测量灵敏度之间的制约关系，获得高频响、高灵敏度的加速度传感器，另一方面通过梁的四角排布方式有效的降低了横向灵敏度。
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一种多级台阶高过载谐振式加速度计芯片
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
一种多级台阶高过载谐振式加速度计芯片，由硅基底和石英音叉梁组成，硅基底由外围的支撑框架和内部的敏感质量块组成，支撑框架和敏感质量块上分别带有过载止挡结构，并通过柔性支撑梁连接为一个整体，硅基底上的敏感质量块上开有供石英音叉梁安装和运动的安装对准标记和空槽，且均对称分布于非敏感方向轴线两侧，与被测加速度方向垂直；通过两石英音叉梁频率变化的差值确定加速度大小；当芯片受到过载冲击加速度时，敏感质量块上的过载止挡结构与支撑框架上的过载止挡结构发生硬接触，阻止石英音叉梁和柔性支撑梁进一步变形造成的破坏；本发明能减少恶劣环境对传感器的影响和破坏，扩大应用范围，并且具有准数字输出，精度高，体积小等优点。
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微压电加速度传感器芯片及其制作方法
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
本发明公开了一种微压电加速度传感器芯片及其制作方法，芯片由一对敏感梁与一对补充梁共同支撑悬空质量块并使其悬空，质量块与敏感梁、补充梁及边框间有一定距离，使其保证质量块振动时不影响敏感梁及补充梁的运动，充分利用空间，增加质量块质量，从而增加了结构的灵敏度，敏感梁上布置了压电薄膜，压电薄膜的上下表面都布置有上下电极，其中芯片的制作方法是通过干法刻蚀以及光刻得到硅基底中的由悬空质量块、敏感梁和补充梁组成的可动结构，正面光刻并溅射形成芯片的上下电极，在硅质基底的背面粘结硼玻璃，硼玻璃与悬空质量块预留有一工作间隙，最后得到芯片，该芯片能够满足高灵敏度、低侧向效应的要求。
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一种基于金属波纹管结构的光纤光栅加速度传感器
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
摘要：一种基于金属波纹管结构的光纤光栅加速度传感器，金属波纹管的上端设置在加工有通孔的外壳内顶部下表面，金属波纹管下端设置有质量块，外壳下端设置加工有通孔、且与密封盖联接的端盖，密封盖的下端设置有传感器接头，在金属波纹管内部设置有振动传感光纤光栅，振动传感光纤光栅的光纤上部固定在外壳上，振动传感光纤光栅的光纤下部穿过质量块的中心通孔固定在质量块上、从密封盖侧壁上的通孔引出并固定在密封盖侧壁上。本发明与现有的加速度传感器相比较，具有结构简单、体积小、灵敏度高、频谱范围宽、器形细长、易于串联组装等优点，可实现多点分布和动态在线实时监测。
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一种机械手的减振块
成熟度：正在研发
技术类型：实用新型
应用行业：制造业
技术简介
机械手的减振块，减振模块安装于中空的机械手引拔臂中，减振模块由两组弹簧和质量块组成，一组质量块位于弹簧的三分之一处，另一组质量块位于弹簧的三分之二处。
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用于低频地震波监测的光纤布拉格光栅振动加速度传感器
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
摘要：一种用于低频地震波监测的光纤布拉格光栅振动加速度传感器，在空心杆上部侧壁上加工有开槽a、下端设上垫片和外沿间隔均布加工有3～8个刻槽的下垫片，开槽a下方空心杆上设上制动块和位于上制动块下的下制动块，上制动块与下制动块之间的空心杆上设沿空心杆移动的质量块，质量块的上表面与上制动块底面间的距离为4mm、下表面与下制动块上表面间的距离为8mm，质量块的下方空心杆上设置由3～8片弹性臂的上端与圆片连为一体、自由端设置在下垫片上构成的弹性梁，在任意一片弹性臂的外侧面上设振动传感光纤光栅，振动传感光纤光栅的输入端和输出端从开槽a穿入空心杆从空心杆上端穿出。
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钳位可控型盘状旋转式惯性压电作动器及作动方法
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
钳位可控型盘状旋转式惯性压电作动器及作动方法，该作动器由底座、钳位外壳、轴承、输出环、钳位菱形环、钳位压电堆、主运动块、质量块、驱动菱形环和驱动压电堆组成，整个作动器结构对称；钳位菱形环和驱动菱形环内分别过盈配合有钳位压电堆和驱动压电堆，质量块和上述部件均不与底座接触，质心均在平行于底座的同一平面内；输出环通过轴承与底座中心的固定轴连接，端面与输出环外环面固接的两个钳位菱形环径向布置于同一直径的两侧，钳位菱形环与驱动菱形环的轴线相互垂直，两者由放置于底座平面上的主运动块相邻侧面衔接，质量块侧面与驱动菱形环固接且悬空于底座上方；本发明结构新颖，钳位可靠，能够实现双向旋转。
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复合八梁高频响加速度传感器芯片
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
复合八梁高频响加速度传感器芯片，包括硅基底和键合于硅基底背面的硼玻璃衬底，硅基底的中心空腔内配置有悬空质量块，四个短小敏感梁沿着悬空质量块的一组对边对称排布，四个宽大支撑梁分别与悬空质量块的另一组对边的四角相连，短小敏感梁和宽大支撑梁共同支撑悬空质量块，使其保持悬空状态，每个短小敏感梁上均制作一个压敏电阻，四个压敏电阻通过金属引线连接组成的半开环惠斯通全桥检测电路与焊盘相连，本发明一方面通过四个短小敏感梁和四个宽大支撑梁的组合方式缓解固有频率与测量灵敏度之间的制约关系，获得高频响、高灵敏度的加速度传感器，另一方面通过梁的四角排布方式有效的降低了横向灵敏度。
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一种多梁式双质量块加速度传感器芯片及其制备方法
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
本发明提供一种多梁式双质量块加速度传感器芯片及其制备方法，传感器芯片采用SOI硅片制造，包括支撑梁、敏感压阻梁以及引线、焊盘等。支撑梁为双端固支梁，其两端固定于芯片外框固支端，支撑梁上对称分布两个质量块，两质量块之间保持一定距离；芯片中四个敏感压阻梁对称分布在支撑梁两侧，且敏感压阻梁一端与质量块的边角连接，另一端与芯片外框固支端连接；四个敏感压阻梁上的压敏电阻通过金属引线相连并构成半开环的惠斯通全桥电路，四个压敏电阻同时通过金属引线和六个金属焊盘连接，该传感器芯片可实现100g以下加速度的测量，固有频率达15kHz以上，满足低g值动态加速度测量的要求。
找到22项技术成果数据。
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一种液压传动的加速质量阻尼系统
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：建筑业
技术简介
本发明提供了一种液压传动的加速质量阻尼系统。该液压传动加速质量阻尼系统包括调谐质量块、液压传动器、弹簧和连接件，可以有效的减少地震力产生的主梁的纵向位移，从而减小桥墩的弯矩。在主梁的底部设置连接件，与桥墩上的液压传动器连接；液压传动器为两个连在一起的不同直径的油缸，大直径活塞与主梁相连接，小直径活塞与附加质量块相连接；在桥墩处设置竖向运动的质量块，用钢丝绳与液压传动器相连；质量块的下端连接弹簧。主梁在地震时获得的动能经液压传动器传递给调谐质量块，液压传动器能够把质量块的速度放大，使质量块吸收更多的动能，从而减小主梁的动能，达到减震的目的。
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孔缝八梁式加速度传感器芯片
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
孔缝八梁式加速度传感器芯片，包括硅基底和键合于硅基底背面的硼玻璃衬底，硅基底的中心空腔内配置有悬空质量块，四个短小敏感梁沿着悬空质量块的一组对边对称排布，四个宽大支撑梁分别与悬空质量块的另一组对边的四角相连，短小敏感梁和宽大支撑梁共同支撑悬空质量块，在每个短小敏感梁与悬空质量块相连接的半边设有一个应力集中孔，每个应力集中孔两侧布置的两根压敏电阻条连接组成一个压敏电阻，四个压敏电阻连接组成半开环惠斯通全桥检测电路与焊盘相连，本发明一方面通过在短小敏感梁上开孔缓解固有频率与测量灵敏度之间的制约关系，获得高频响、高灵敏度的加速度传感器，另一方面通过梁的四角排布方式有效的降低了横向灵敏度。
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一种多级台阶高过载谐振式加速度计芯片
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
一种多级台阶高过载谐振式加速度计芯片，由硅基底和石英音叉梁组成，硅基底由外围的支撑框架和内部的敏感质量块组成，支撑框架和敏感质量块上分别带有过载止挡结构，并通过柔性支撑梁连接为一个整体，硅基底上的敏感质量块上开有供石英音叉梁安装和运动的安装对准标记和空槽，且均对称分布于非敏感方向轴线两侧，与被测加速度方向垂直；通过两石英音叉梁频率变化的差值确定加速度大小；当芯片受到过载冲击加速度时，敏感质量块上的过载止挡结构与支撑框架上的过载止挡结构发生硬接触，阻止石英音叉梁和柔性支撑梁进一步变形造成的破坏；本发明能减少恶劣环境对传感器的影响和破坏，扩大应用范围，并且具有准数字输出，精度高，体积小等优点。
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微压电加速度传感器芯片及其制作方法
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
本发明公开了一种微压电加速度传感器芯片及其制作方法，芯片由一对敏感梁与一对补充梁共同支撑悬空质量块并使其悬空，质量块与敏感梁、补充梁及边框间有一定距离，使其保证质量块振动时不影响敏感梁及补充梁的运动，充分利用空间，增加质量块质量，从而增加了结构的灵敏度，敏感梁上布置了压电薄膜，压电薄膜的上下表面都布置有上下电极，其中芯片的制作方法是通过干法刻蚀以及光刻得到硅基底中的由悬空质量块、敏感梁和补充梁组成的可动结构，正面光刻并溅射形成芯片的上下电极，在硅质基底的背面粘结硼玻璃，硼玻璃与悬空质量块预留有一工作间隙，最后得到芯片，该芯片能够满足高灵敏度、低侧向效应的要求。
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一种基于金属波纹管结构的光纤光栅加速度传感器
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
摘要：一种基于金属波纹管结构的光纤光栅加速度传感器，金属波纹管的上端设置在加工有通孔的外壳内顶部下表面，金属波纹管下端设置有质量块，外壳下端设置加工有通孔、且与密封盖联接的端盖，密封盖的下端设置有传感器接头，在金属波纹管内部设置有振动传感光纤光栅，振动传感光纤光栅的光纤上部固定在外壳上，振动传感光纤光栅的光纤下部穿过质量块的中心通孔固定在质量块上、从密封盖侧壁上的通孔引出并固定在密封盖侧壁上。本发明与现有的加速度传感器相比较，具有结构简单、体积小、灵敏度高、频谱范围宽、器形细长、易于串联组装等优点，可实现多点分布和动态在线实时监测。
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一种机械手的减振块
成熟度：正在研发
技术类型：实用新型
应用行业：制造业
技术简介
机械手的减振块，减振模块安装于中空的机械手引拔臂中，减振模块由两组弹簧和质量块组成，一组质量块位于弹簧的三分之一处，另一组质量块位于弹簧的三分之二处。
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用于低频地震波监测的光纤布拉格光栅振动加速度传感器
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
摘要：一种用于低频地震波监测的光纤布拉格光栅振动加速度传感器，在空心杆上部侧壁上加工有开槽a、下端设上垫片和外沿间隔均布加工有3～8个刻槽的下垫片，开槽a下方空心杆上设上制动块和位于上制动块下的下制动块，上制动块与下制动块之间的空心杆上设沿空心杆移动的质量块，质量块的上表面与上制动块底面间的距离为4mm、下表面与下制动块上表面间的距离为8mm，质量块的下方空心杆上设置由3～8片弹性臂的上端与圆片连为一体、自由端设置在下垫片上构成的弹性梁，在任意一片弹性臂的外侧面上设振动传感光纤光栅，振动传感光纤光栅的输入端和输出端从开槽a穿入空心杆从空心杆上端穿出。
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钳位可控型盘状旋转式惯性压电作动器及作动方法
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
钳位可控型盘状旋转式惯性压电作动器及作动方法，该作动器由底座、钳位外壳、轴承、输出环、钳位菱形环、钳位压电堆、主运动块、质量块、驱动菱形环和驱动压电堆组成，整个作动器结构对称；钳位菱形环和驱动菱形环内分别过盈配合有钳位压电堆和驱动压电堆，质量块和上述部件均不与底座接触，质心均在平行于底座的同一平面内；输出环通过轴承与底座中心的固定轴连接，端面与输出环外环面固接的两个钳位菱形环径向布置于同一直径的两侧，钳位菱形环与驱动菱形环的轴线相互垂直，两者由放置于底座平面上的主运动块相邻侧面衔接，质量块侧面与驱动菱形环固接且悬空于底座上方；本发明结构新颖，钳位可靠，能够实现双向旋转。
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复合八梁高频响加速度传感器芯片
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
复合八梁高频响加速度传感器芯片，包括硅基底和键合于硅基底背面的硼玻璃衬底，硅基底的中心空腔内配置有悬空质量块，四个短小敏感梁沿着悬空质量块的一组对边对称排布，四个宽大支撑梁分别与悬空质量块的另一组对边的四角相连，短小敏感梁和宽大支撑梁共同支撑悬空质量块，使其保持悬空状态，每个短小敏感梁上均制作一个压敏电阻，四个压敏电阻通过金属引线连接组成的半开环惠斯通全桥检测电路与焊盘相连，本发明一方面通过四个短小敏感梁和四个宽大支撑梁的组合方式缓解固有频率与测量灵敏度之间的制约关系，获得高频响、高灵敏度的加速度传感器，另一方面通过梁的四角排布方式有效的降低了横向灵敏度。
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一种多梁式双质量块加速度传感器芯片及其制备方法
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
本发明提供一种多梁式双质量块加速度传感器芯片及其制备方法，传感器芯片采用SOI硅片制造，包括支撑梁、敏感压阻梁以及引线、焊盘等。支撑梁为双端固支梁，其两端固定于芯片外框固支端，支撑梁上对称分布两个质量块，两质量块之间保持一定距离；芯片中四个敏感压阻梁对称分布在支撑梁两侧，且敏感压阻梁一端与质量块的边角连接，另一端与芯片外框固支端连接；四个敏感压阻梁上的压敏电阻通过金属引线相连并构成半开环的惠斯通全桥电路，四个压敏电阻同时通过金属引线和六个金属焊盘连接，该传感器芯片可实现100g以下加速度的测量，固有频率达15kHz以上，满足低g值动态加速度测量的要求。
找到22项技术成果数据。
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一种液压传动的加速质量阻尼系统
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：建筑业
技术简介
本发明提供了一种液压传动的加速质量阻尼系统。该液压传动加速质量阻尼系统包括调谐质量块、液压传动器、弹簧和连接件，可以有效的减少地震力产生的主梁的纵向位移，从而减小桥墩的弯矩。在主梁的底部设置连接件，与桥墩上的液压传动器连接；液压传动器为两个连在一起的不同直径的油缸，大直径活塞与主梁相连接，小直径活塞与附加质量块相连接；在桥墩处设置竖向运动的质量块，用钢丝绳与液压传动器相连；质量块的下端连接弹簧。主梁在地震时获得的动能经液压传动器传递给调谐质量块，液压传动器能够把质量块的速度放大，使质量块吸收更多的动能，从而减小主梁的动能，达到减震的目的。
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孔缝八梁式加速度传感器芯片
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
孔缝八梁式加速度传感器芯片，包括硅基底和键合于硅基底背面的硼玻璃衬底，硅基底的中心空腔内配置有悬空质量块，四个短小敏感梁沿着悬空质量块的一组对边对称排布，四个宽大支撑梁分别与悬空质量块的另一组对边的四角相连，短小敏感梁和宽大支撑梁共同支撑悬空质量块，在每个短小敏感梁与悬空质量块相连接的半边设有一个应力集中孔，每个应力集中孔两侧布置的两根压敏电阻条连接组成一个压敏电阻，四个压敏电阻连接组成半开环惠斯通全桥检测电路与焊盘相连，本发明一方面通过在短小敏感梁上开孔缓解固有频率与测量灵敏度之间的制约关系，获得高频响、高灵敏度的加速度传感器，另一方面通过梁的四角排布方式有效的降低了横向灵敏度。
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一种多级台阶高过载谐振式加速度计芯片
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
一种多级台阶高过载谐振式加速度计芯片，由硅基底和石英音叉梁组成，硅基底由外围的支撑框架和内部的敏感质量块组成，支撑框架和敏感质量块上分别带有过载止挡结构，并通过柔性支撑梁连接为一个整体，硅基底上的敏感质量块上开有供石英音叉梁安装和运动的安装对准标记和空槽，且均对称分布于非敏感方向轴线两侧，与被测加速度方向垂直；通过两石英音叉梁频率变化的差值确定加速度大小；当芯片受到过载冲击加速度时，敏感质量块上的过载止挡结构与支撑框架上的过载止挡结构发生硬接触，阻止石英音叉梁和柔性支撑梁进一步变形造成的破坏；本发明能减少恶劣环境对传感器的影响和破坏，扩大应用范围，并且具有准数字输出，精度高，体积小等优点。
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微压电加速度传感器芯片及其制作方法
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
本发明公开了一种微压电加速度传感器芯片及其制作方法，芯片由一对敏感梁与一对补充梁共同支撑悬空质量块并使其悬空，质量块与敏感梁、补充梁及边框间有一定距离，使其保证质量块振动时不影响敏感梁及补充梁的运动，充分利用空间，增加质量块质量，从而增加了结构的灵敏度，敏感梁上布置了压电薄膜，压电薄膜的上下表面都布置有上下电极，其中芯片的制作方法是通过干法刻蚀以及光刻得到硅基底中的由悬空质量块、敏感梁和补充梁组成的可动结构，正面光刻并溅射形成芯片的上下电极，在硅质基底的背面粘结硼玻璃，硼玻璃与悬空质量块预留有一工作间隙，最后得到芯片，该芯片能够满足高灵敏度、低侧向效应的要求。
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一种基于金属波纹管结构的光纤光栅加速度传感器
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
摘要：一种基于金属波纹管结构的光纤光栅加速度传感器，金属波纹管的上端设置在加工有通孔的外壳内顶部下表面，金属波纹管下端设置有质量块，外壳下端设置加工有通孔、且与密封盖联接的端盖，密封盖的下端设置有传感器接头，在金属波纹管内部设置有振动传感光纤光栅，振动传感光纤光栅的光纤上部固定在外壳上，振动传感光纤光栅的光纤下部穿过质量块的中心通孔固定在质量块上、从密封盖侧壁上的通孔引出并固定在密封盖侧壁上。本发明与现有的加速度传感器相比较，具有结构简单、体积小、灵敏度高、频谱范围宽、器形细长、易于串联组装等优点，可实现多点分布和动态在线实时监测。
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一种机械手的减振块
成熟度：正在研发
技术类型：实用新型
应用行业：制造业
技术简介
机械手的减振块，减振模块安装于中空的机械手引拔臂中，减振模块由两组弹簧和质量块组成，一组质量块位于弹簧的三分之一处，另一组质量块位于弹簧的三分之二处。
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用于低频地震波监测的光纤布拉格光栅振动加速度传感器
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
摘要：一种用于低频地震波监测的光纤布拉格光栅振动加速度传感器，在空心杆上部侧壁上加工有开槽a、下端设上垫片和外沿间隔均布加工有3～8个刻槽的下垫片，开槽a下方空心杆上设上制动块和位于上制动块下的下制动块，上制动块与下制动块之间的空心杆上设沿空心杆移动的质量块，质量块的上表面与上制动块底面间的距离为4mm、下表面与下制动块上表面间的距离为8mm，质量块的下方空心杆上设置由3～8片弹性臂的上端与圆片连为一体、自由端设置在下垫片上构成的弹性梁，在任意一片弹性臂的外侧面上设振动传感光纤光栅，振动传感光纤光栅的输入端和输出端从开槽a穿入空心杆从空心杆上端穿出。
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钳位可控型盘状旋转式惯性压电作动器及作动方法
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
钳位可控型盘状旋转式惯性压电作动器及作动方法，该作动器由底座、钳位外壳、轴承、输出环、钳位菱形环、钳位压电堆、主运动块、质量块、驱动菱形环和驱动压电堆组成，整个作动器结构对称；钳位菱形环和驱动菱形环内分别过盈配合有钳位压电堆和驱动压电堆，质量块和上述部件均不与底座接触，质心均在平行于底座的同一平面内；输出环通过轴承与底座中心的固定轴连接，端面与输出环外环面固接的两个钳位菱形环径向布置于同一直径的两侧，钳位菱形环与驱动菱形环的轴线相互垂直，两者由放置于底座平面上的主运动块相邻侧面衔接，质量块侧面与驱动菱形环固接且悬空于底座上方；本发明结构新颖，钳位可靠，能够实现双向旋转。
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复合八梁高频响加速度传感器芯片
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
复合八梁高频响加速度传感器芯片，包括硅基底和键合于硅基底背面的硼玻璃衬底，硅基底的中心空腔内配置有悬空质量块，四个短小敏感梁沿着悬空质量块的一组对边对称排布，四个宽大支撑梁分别与悬空质量块的另一组对边的四角相连，短小敏感梁和宽大支撑梁共同支撑悬空质量块，使其保持悬空状态，每个短小敏感梁上均制作一个压敏电阻，四个压敏电阻通过金属引线连接组成的半开环惠斯通全桥检测电路与焊盘相连，本发明一方面通过四个短小敏感梁和四个宽大支撑梁的组合方式缓解固有频率与测量灵敏度之间的制约关系，获得高频响、高灵敏度的加速度传感器，另一方面通过梁的四角排布方式有效的降低了横向灵敏度。
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一种多梁式双质量块加速度传感器芯片及其制备方法
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
本发明提供一种多梁式双质量块加速度传感器芯片及其制备方法，传感器芯片采用SOI硅片制造，包括支撑梁、敏感压阻梁以及引线、焊盘等。支撑梁为双端固支梁，其两端固定于芯片外框固支端，支撑梁上对称分布两个质量块，两质量块之间保持一定距离；芯片中四个敏感压阻梁对称分布在支撑梁两侧，且敏感压阻梁一端与质量块的边角连接，另一端与芯片外框固支端连接；四个敏感压阻梁上的压敏电阻通过金属引线相连并构成半开环的惠斯通全桥电路，四个压敏电阻同时通过金属引线和六个金属焊盘连接，该传感器芯片可实现100g以下加速度的测量，固有频率达15kHz以上，满足低g值动态加速度测量的要求。
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一种液压传动的加速质量阻尼系统
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：建筑业
技术简介
本发明提供了一种液压传动的加速质量阻尼系统。该液压传动加速质量阻尼系统包括调谐质量块、液压传动器、弹簧和连接件，可以有效的减少地震力产生的主梁的纵向位移，从而减小桥墩的弯矩。在主梁的底部设置连接件，与桥墩上的液压传动器连接；液压传动器为两个连在一起的不同直径的油缸，大直径活塞与主梁相连接，小直径活塞与附加质量块相连接；在桥墩处设置竖向运动的质量块，用钢丝绳与液压传动器相连；质量块的下端连接弹簧。主梁在地震时获得的动能经液压传动器传递给调谐质量块，液压传动器能够把质量块的速度放大，使质量块吸收更多的动能，从而减小主梁的动能，达到减震的目的。
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孔缝八梁式加速度传感器芯片
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
孔缝八梁式加速度传感器芯片，包括硅基底和键合于硅基底背面的硼玻璃衬底，硅基底的中心空腔内配置有悬空质量块，四个短小敏感梁沿着悬空质量块的一组对边对称排布，四个宽大支撑梁分别与悬空质量块的另一组对边的四角相连，短小敏感梁和宽大支撑梁共同支撑悬空质量块，在每个短小敏感梁与悬空质量块相连接的半边设有一个应力集中孔，每个应力集中孔两侧布置的两根压敏电阻条连接组成一个压敏电阻，四个压敏电阻连接组成半开环惠斯通全桥检测电路与焊盘相连，本发明一方面通过在短小敏感梁上开孔缓解固有频率与测量灵敏度之间的制约关系，获得高频响、高灵敏度的加速度传感器，另一方面通过梁的四角排布方式有效的降低了横向灵敏度。
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一种多级台阶高过载谐振式加速度计芯片
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
一种多级台阶高过载谐振式加速度计芯片，由硅基底和石英音叉梁组成，硅基底由外围的支撑框架和内部的敏感质量块组成，支撑框架和敏感质量块上分别带有过载止挡结构，并通过柔性支撑梁连接为一个整体，硅基底上的敏感质量块上开有供石英音叉梁安装和运动的安装对准标记和空槽，且均对称分布于非敏感方向轴线两侧，与被测加速度方向垂直；通过两石英音叉梁频率变化的差值确定加速度大小；当芯片受到过载冲击加速度时，敏感质量块上的过载止挡结构与支撑框架上的过载止挡结构发生硬接触，阻止石英音叉梁和柔性支撑梁进一步变形造成的破坏；本发明能减少恶劣环境对传感器的影响和破坏，扩大应用范围，并且具有准数字输出，精度高，体积小等优点。
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微压电加速度传感器芯片及其制作方法
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
本发明公开了一种微压电加速度传感器芯片及其制作方法，芯片由一对敏感梁与一对补充梁共同支撑悬空质量块并使其悬空，质量块与敏感梁、补充梁及边框间有一定距离，使其保证质量块振动时不影响敏感梁及补充梁的运动，充分利用空间，增加质量块质量，从而增加了结构的灵敏度，敏感梁上布置了压电薄膜，压电薄膜的上下表面都布置有上下电极，其中芯片的制作方法是通过干法刻蚀以及光刻得到硅基底中的由悬空质量块、敏感梁和补充梁组成的可动结构，正面光刻并溅射形成芯片的上下电极，在硅质基底的背面粘结硼玻璃，硼玻璃与悬空质量块预留有一工作间隙，最后得到芯片，该芯片能够满足高灵敏度、低侧向效应的要求。
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一种基于金属波纹管结构的光纤光栅加速度传感器
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
摘要：一种基于金属波纹管结构的光纤光栅加速度传感器，金属波纹管的上端设置在加工有通孔的外壳内顶部下表面，金属波纹管下端设置有质量块，外壳下端设置加工有通孔、且与密封盖联接的端盖，密封盖的下端设置有传感器接头，在金属波纹管内部设置有振动传感光纤光栅，振动传感光纤光栅的光纤上部固定在外壳上，振动传感光纤光栅的光纤下部穿过质量块的中心通孔固定在质量块上、从密封盖侧壁上的通孔引出并固定在密封盖侧壁上。本发明与现有的加速度传感器相比较，具有结构简单、体积小、灵敏度高、频谱范围宽、器形细长、易于串联组装等优点，可实现多点分布和动态在线实时监测。
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一种机械手的减振块
成熟度：正在研发
技术类型：实用新型
应用行业：制造业
技术简介
机械手的减振块，减振模块安装于中空的机械手引拔臂中，减振模块由两组弹簧和质量块组成，一组质量块位于弹簧的三分之一处，另一组质量块位于弹簧的三分之二处。
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用于低频地震波监测的光纤布拉格光栅振动加速度传感器
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
摘要：一种用于低频地震波监测的光纤布拉格光栅振动加速度传感器，在空心杆上部侧壁上加工有开槽a、下端设上垫片和外沿间隔均布加工有3～8个刻槽的下垫片，开槽a下方空心杆上设上制动块和位于上制动块下的下制动块，上制动块与下制动块之间的空心杆上设沿空心杆移动的质量块，质量块的上表面与上制动块底面间的距离为4mm、下表面与下制动块上表面间的距离为8mm，质量块的下方空心杆上设置由3～8片弹性臂的上端与圆片连为一体、自由端设置在下垫片上构成的弹性梁，在任意一片弹性臂的外侧面上设振动传感光纤光栅，振动传感光纤光栅的输入端和输出端从开槽a穿入空心杆从空心杆上端穿出。
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钳位可控型盘状旋转式惯性压电作动器及作动方法
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
钳位可控型盘状旋转式惯性压电作动器及作动方法，该作动器由底座、钳位外壳、轴承、输出环、钳位菱形环、钳位压电堆、主运动块、质量块、驱动菱形环和驱动压电堆组成，整个作动器结构对称；钳位菱形环和驱动菱形环内分别过盈配合有钳位压电堆和驱动压电堆，质量块和上述部件均不与底座接触，质心均在平行于底座的同一平面内；输出环通过轴承与底座中心的固定轴连接，端面与输出环外环面固接的两个钳位菱形环径向布置于同一直径的两侧，钳位菱形环与驱动菱形环的轴线相互垂直，两者由放置于底座平面上的主运动块相邻侧面衔接，质量块侧面与驱动菱形环固接且悬空于底座上方；本发明结构新颖，钳位可靠，能够实现双向旋转。
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复合八梁高频响加速度传感器芯片
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
复合八梁高频响加速度传感器芯片，包括硅基底和键合于硅基底背面的硼玻璃衬底，硅基底的中心空腔内配置有悬空质量块，四个短小敏感梁沿着悬空质量块的一组对边对称排布，四个宽大支撑梁分别与悬空质量块的另一组对边的四角相连，短小敏感梁和宽大支撑梁共同支撑悬空质量块，使其保持悬空状态，每个短小敏感梁上均制作一个压敏电阻，四个压敏电阻通过金属引线连接组成的半开环惠斯通全桥检测电路与焊盘相连，本发明一方面通过四个短小敏感梁和四个宽大支撑梁的组合方式缓解固有频率与测量灵敏度之间的制约关系，获得高频响、高灵敏度的加速度传感器，另一方面通过梁的四角排布方式有效的降低了横向灵敏度。
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一种多梁式双质量块加速度传感器芯片及其制备方法
成熟度：正在研发
技术类型：发明
应用行业：制造业
技术简介
本发明提供一种多梁式双质量块加速度传感器芯片及其制备方法，传感器芯片采用SOI硅片制造，包括支撑梁、敏感压阻梁以及引线、焊盘等。支撑梁为双端固支梁，其两端固定于芯片外框固支端，支撑梁上对称分布两个质量块，两质量块之间保持一定距离；芯片中四个敏感压阻梁对称分布在支撑梁两侧，且敏感压阻梁一端与质量块的边角连接，另一端与芯片外框固支端连接；四个敏感压阻梁上的压敏电阻通过金属引线相连并构成半开环的惠斯通全桥电路，四个压敏电阻同时通过金属引线和六个金属焊盘连接，该传感器芯片可实现100g以下加速度的测量，固有频率达15kHz以上，满足低g值动态加速度测量的要求。