背散射电子像

背散射电子像技术专利买卖交易

应 用 行 业：其他信息技术服务业

高新技术领域：微电子技术

关 键 词：电子枪,扫描电子显微镜,入射电子束

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背散射电子像专题介绍
背散射电子像是在扫描电子显微镜中，通过电子枪产生的电子，经过加速磁场、偏转磁场后，照射到待检测的样品表面，待检测样品会反射一部分的电子，在扫描电子显微镜的工作镜腔里的背散射电子探头就会检测到这些被反射的电子，进而在检测器上所成的像。背散射电子像可以被应用于扫描电子显微镜中，由于在扫描电子显微镜中，样品会反射部分的电子，从而能显示待检测样品表面的一些状况。
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