硅片清洗剂

硅片清洗剂科研进展

应 用 行 业：电子元件及电子专用材料制造

高新技术领域：电子化学品制备及应用技术

关 键 词：硅片清洗,清洗剂,溶解氧,运输过程,沾污

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新材料 集成电路 药学

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硅片清洗剂专题介绍
硅片清洗剂广泛应用于光伏，电子等行业硅片清洗;由于硅片在运输过程中会有所污染，表面洁净度不是很高，对即将进行的腐蚀与刻蚀产生很大的影响，所以首先要对硅片表面进行一系列的清洗操作。清洗的一般思路首先是去除表面的有机沾污，然后溶解氧化膜，因为氧化层是"沾污陷进"，会引起外延缺陷;再去除颗粒、金属等，同时使硅片的表面钝化。目前多采用传统的RCA清洗方法，不仅可以去除硅片表面的金属、有机物等，还可以去除小颗粒等污染物。
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